中國(guó)為什么造不出高端光刻機(jī)?
世界上最復(fù)雜的機(jī)器是什么?也許有人回答汽車、船只、飛機(jī)等問題,但沒有人回答。世界上最復(fù)雜、最精確和技術(shù)最先進(jìn)的機(jī)器是光刻機(jī)。
什么是光刻機(jī)?光刻機(jī)是專門用來生產(chǎn)切屑設(shè)備的,普通手工藝品是用刀具雕刻的,硅基晶片是用光雕刻的,保證光刻晶片上電路的設(shè)備是光刻機(jī)。為什么說光刻機(jī)是最復(fù)雜的機(jī)器呢?普通汽車有5000個(gè)零件,光刻機(jī)有100000個(gè)零件。
光刻機(jī)的工作原理可以簡(jiǎn)單地概括為投影機(jī)加照相機(jī),使用類似的照片開發(fā)技術(shù),用光刻膠曝光硅片。
作為芯片生產(chǎn)的重要設(shè)備,中國(guó)為什么不能制造出高端光刻機(jī)呢?普通光刻機(jī)或許還能掌握,但要達(dá)到高端EUV光刻機(jī)的水平,只有ASML公司才能在世界各地生產(chǎn)。
高端光刻機(jī)集流體力學(xué)、光學(xué)、數(shù)學(xué)、表面物理化學(xué)、機(jī)械、軟件、自動(dòng)化等尖端技術(shù)學(xué)科的產(chǎn)品于一身。一臺(tái)光刻機(jī)由200多個(gè)傳感器和13個(gè)子系統(tǒng)組成。光刻機(jī)的頭發(fā)很小,但光刻機(jī)需要在頭發(fā)大小上刻上數(shù)萬本。
為什么我們不能創(chuàng)造,我們心中也必須有一個(gè)概念。一些工程師直截了當(dāng)?shù)卣f,零部件比原子彈更難制造。有傳言說,有些圖紙可能無法制作。
有些人可能幻想偷一臺(tái)光刻機(jī),自己偷偷生產(chǎn)。你知道,ASML光刻機(jī)需要技術(shù)授權(quán),并連接到互聯(lián)網(wǎng)上。每年生產(chǎn)20多臺(tái),每臺(tái)都可以追蹤。其中一臺(tái)的價(jià)格高達(dá)1.2億美元,即使你偷了它,你也可能無法操作它。
如果你想制造一臺(tái)高端光刻機(jī),你需要至少5000家供應(yīng)商,以及德國(guó)光學(xué)設(shè)備和超精密儀器、美國(guó)計(jì)量設(shè)備、臺(tái)積電加工技術(shù)等。高端光刻機(jī)似乎被ASML壟斷,但誰(shuí)知道該公司90%的重要部件是進(jìn)口的。
困難不是放棄的理由。
認(rèn)識(shí)到這一點(diǎn)后,高端光刻機(jī)的制造難度也有了一個(gè)清晰的認(rèn)識(shí)。考慮到中國(guó)芯片制造業(yè)的缺陷,如果有光刻機(jī)的支持,必將緩解現(xiàn)狀。
困難不是放棄的理由,而是借口。爬山的人會(huì)因?yàn)榈缆返奈kU(xiǎn)環(huán)境而停下來嗎?到達(dá)山頂看風(fēng)景就相當(dāng)于山腳。
因此,我國(guó)也將在光刻領(lǐng)域繼續(xù)耕耘,這可能在短時(shí)間內(nèi)很難獲得高端光刻的機(jī)會(huì),但每一次進(jìn)展的突破都是為未來的成功奠定基礎(chǔ),困難是尖銳的,也是成長(zhǎng)的。
摘要
世界高端光刻機(jī)掌握在一家ASML公司手中,但最初的ASML也是從無到有,從落后到先進(jìn)。因此,你可以把它作為一個(gè)目標(biāo),明確你想要改進(jìn)的地方。一旦光刻機(jī)的技術(shù)被打破,它對(duì)未來國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體的發(fā)展具有重大意義。沒有理由放棄,所以我們只能向前邁進(jìn)。
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