沈文娟:縱向+橫向布局,打造激光產業“中國芯”
(文/白琥倪)在當今科技飛速發展的時代,半導體行業作為國家戰略性新興產業的重要組成部分,備受全球矚目。在這一領域,有一位杰出人才,她以非凡的才華和堅韌不拔的精神,為推動我國半導體激光產業的發展做出了卓越貢獻。她就是知名半導體科技有限公司的副總裁——沈文娟博士。
沈文娟,碩士畢業于河北工業大學,后在中國科學院半導體研究所深造,獲得材料物理與化學博士學位,在半導體領域積累了豐富的研究經驗。她領導的團隊在半導體激光芯片領域取得了顯著成就,其中《利用緩沖層在硅襯底上生長氧化鋅薄膜的方法》技術成果尤為突出,打破了國際在激光芯片領域的壟斷,為我國激光產業的發展注入了強大動力。
氧化鋅薄膜作為半導體領域的關鍵材料,以其寬帶隙、高熱穩定性和卓越的光電性能而著稱。然而,傳統生長方法存在生長溫度高、結晶質量不佳及與硅襯底兼容性差等問題,限制了其在光電子器件中的應用。為解決這些問題,沈文娟博士帶領公司半導體研發團隊,創新性地提出了《利用緩沖層在硅襯底上生長氧化鋅薄膜的方法》。該方法通過引入緩沖層,有效降低了氧化鋅薄膜的生長溫度,顯著提升了結晶質量,并大幅改善了與硅襯底的兼容性。
沈文娟博士及其團隊經過深入研究和實踐,成功克服了傳統方法的諸多瓶頸。她們首先在硅襯底上生長一層氧化鋁薄膜作為緩沖層,該薄膜具有良好的熱穩定性和與硅襯底的良好兼容性,能夠有效地緩解氧化鋅薄膜與硅襯底之間的晶格失配問題。隨后,在氧化鋁緩沖層上生長氧化鋅薄膜。沈文娟博士和她的團隊通過精確控制生長條件,如溫度、壓力和氣體流量等,可以在較低的溫度下生長出高質量的氧化鋅薄膜。這一過程不僅提高了結晶質量,還降低了生產成本,為大規模生產奠定了基礎。
最后,對生長的氧化鋅薄膜進行退火、表面修飾等后處理,以進一步優化其性能。沈文娟博士及其團隊通過深入研究,成功提升了氧化鋅薄膜的綜合性能,使其在光電子器件中的應用潛力得到極大釋放。憑借這一創新方法,公司成功地在硅襯底上生長出了高質量的氧化鋅薄膜,為高性能激光芯片的開發提供了關鍵材料支撐。該項技術《利用緩沖層在硅襯底上生長氧化鋅薄膜的方法》目前在國際上處于領先地位,為我國乃至全球光電子產業帶來了新的發展機遇。
作為公司的領導團隊成員,沈文娟博士深知技術創新對企業發展的重要性。在她的推動下,公司加大研發投入,強化產學研合作,培養了一支具有國際競爭力的研發團隊。
然而,沈文娟博士并未止步于此。她堅信,要在半導體激光芯片領域實現“中國芯”的目標,必須在縱向和橫向兩個維度上進行全面布局。縱向深入挖掘核心技術,提升產品性能和可靠性;橫向則拓展應用領域,實現跨界融合,為我國經濟社會發展注入更多創新活力。在沈文娟博士的領導下,企業集團正穩步邁向這一目標。公司不僅研發出多款具有國際競爭力的激光芯片產品,還積極拓展其在光通信、激光照明、激光顯示等領域的應用。通過與國內外知名企業、科研院所的緊密合作,浙江地區的半導體材料產業架構正逐步構建起一個涵蓋產業鏈上下游的半導體激光產業生態圈。未來,沈文娟將繼續深耕技術創新,推動更多技術成果的應用與發展,為世界光電子產業的繁榮貢獻更多的“中國力量”。